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●機器名
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白金コータ（オートファインコータ）
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| ●概 要 |
SEM試料に白金スパッタする試料作製装置です。
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| ●型 式 |
日本電子/JEC-3000FC
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| ●仕 様 |
方式：マグネトロン型スパッタリング
ターゲット：白金 試料台：64mmφ |
| ●活用事例 | SEM試料の導電性付与 |
| ●担 当 | 工業化学担当 |
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●機器名
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白金コータ（オートファインコータ）
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| ●概 要 |
SEM試料に白金スパッタする試料作製装置です。
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| ●型 式 |
日本電子/JEC-3000FC
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| ●仕 様 |
方式：マグネトロン型スパッタリング
ターゲット：白金 試料台：64mmφ |
| ●活用事例 | SEM試料の導電性付与 |
| ●担 当 | 工業化学担当 |