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●機器名
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イオンビームミリング装置（電子顕微鏡用試料作成装置）
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| ●概 要 |
極めて滑らかな表面が得られ、SEM観察用の断面試料やTEM観察用の薄片試料などが作製できる装置です。
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| ●型 式 |
ライカマイクロシステムズ株式会社製 EM RES101
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| ●仕 様 |
断面作製：試料形状（高さ4.0 mm、幅5.0 mm、厚さ1.5 mmまで）
表面処理：試料形状（高さ12.0 mm、直径25 mmまで） |
| ●活用事例 | 薄膜の厚さ測定、試料中のフィラー分散状態の観察など |
| ●担 当 | 工業化学担当 |