●機器名
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イオンビームミリング装置(電子顕微鏡用試料作成装置)
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●概 要 |
極めて滑らかな表面が得られ、SEM観察用の断面試料やTEM観察用の薄片試料などが作製できる装置です。
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●型 式 |
ライカマイクロシステムズ株式会社製 EM RES101
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●仕 様 |
断面作製:試料形状(高さ4.0 mm、幅5.0 mm、厚さ1.5 mmまで)
表面処理:試料形状(高さ12.0 mm、直径25 mmまで) |
●活用事例 | 薄膜の厚さ測定、試料中のフィラー分散状態の観察など |
●担 当 | 工業化学担当 |