C206：電界放出型走査電子顕微鏡（観察）

●機器名

電界放出型走査電子顕微鏡

固体試料における表面微小部の形状観察や元素分析を行う装置です。

日本電子（株）製　JSM-7400F/JED-2300F

電子銃：電界放出型
分解能：1.0 nm（15 kV） 1.5 nm（1 kV）
元素分析：エネルギー分散型（分解能：133eV）、ポイント、マッピング
分析元素範囲：Be-U
試料サイズ：最大厚さ5mmで、かつ、下記の試料台サイズからはみ出さない試料
試料台サイズ：標準φ 12.5 mm、中φ26 mm、大32 mm、最大φ100 mm
※半導体回路のように平坦な試料が測定に適しています。
液体やガスを含んでいる試料は測定できません。