C205:FE-SEM/EDS

●機器名
FE-SEM/EDS
●概 要
電界放出形走査電子顕微鏡に元素分析装置(EDS)を搭載したもので高倍率観察・分析をする機器です。
●型 式
日本電子(株)製 JSM-IT800SHL
●仕 様
〇SEM
写真倍率:×10~2,000,000
分解能:0.5nm(15kV)
〇EDS
4Be~98Cf
〇その他
低真空モード、走査透過像観察など
●活用事例 微細構造の観察、異物分析など
●担 当 工業化学担当