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M212:表面粗さ測定装置

●機器名
表面粗さ測定装置
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●概 要
先端径が0.5~2.0μmの接触式プローブを用いて、表面粗さを含めたウエハ等の微細3次元表面形状の測定を行う装置です。1断面ごとの測定なので、3次元形状の測定には、通常4~6時間を要します。
●型 式
(株)小坂研究所製 ET4000
●仕 様
最大試料サイズ:X220×Y220×Z50mm
最大積載重量:2kg
Z方向測定範囲:max.100μm
Z方向分解能:0.1nm(±3.2μmレンジ)
測定力:min.0.5μN(0.05mgf)
X軸真直度:0.1μm/100mm(0.005μm/5mm)
●活用事例機械加工面の粗さ測定、樹脂フィルム表面の3次元形状測定
オプティカルフラット(ガラス)の粗さ評価
●担 当機械担当

 

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