●機器名 | 表面粗さ測定装置 | |
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| ●概 要 | 先端径が0.5～2.0μmの接触式プローブを用いて、表面粗さを含めたウエハ等の微細3次元表面形状の測定を行う装置です。1断面ごとの測定なので、3次元形状の測定には、通常4～6時間を要します。 | |
| ●型 式 | （株）小坂研究所製 ET4000 | |
| ●仕 様 | 最大試料サイズ：X220×Y220×Z50mm 最大積載重量：2kg Z方向測定範囲：max.100μm Z方向分解能：0.1nm（±3.2μmレンジ） 測定力：min.0.5μN（0.05mgf） X軸真直度：0.1μm/100mm（0.005μm/5mm） | |
| ●活用事例 | 機械加工面の粗さ測定、樹脂フィルム表面の3次元形状測定 オプティカルフラット（ガラス）の粗さ評価 | |
| ●担 当 | 機械担当 | |
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