●機器名 | 表面粗さ測定装置 | |
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●概 要 | 先端径が0.5~2.0μmの接触式プローブを用いて、表面粗さを含めたウエハ等の微細3次元表面形状の測定を行う装置です。1断面ごとの測定なので、3次元形状の測定には、通常4~6時間を要します。 | |
●型 式 | (株)小坂研究所製 ET4000 | |
●仕 様 | 最大試料サイズ:X220×Y220×Z50mm 最大積載重量:2kg Z方向測定範囲:max.100μm Z方向分解能:0.1nm(±3.2μmレンジ) 測定力:min.0.5μN(0.05mgf) X軸真直度:0.1μm/100mm(0.005μm/5mm) | |
●活用事例 | 機械加工面の粗さ測定、樹脂フィルム表面の3次元形状測定 オプティカルフラット(ガラス)の粗さ評価 | |
●担 当 | 機械担当 |