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C220:イオンビームミリング装置(電子顕微鏡用試料作成装置)

●機器名
イオンビームミリング装置(電子顕微鏡用試料作成装置)
c220
●概 要
極めて滑らかな表面が得られ、SEM観察用の断面試料やTEM観察用の薄片試料などが作製できる装置です。
●型 式
ライカマイクロシステムズ株式会社製 EM RES101
●仕 様
断面作製:試料形状(高さ4.0 mm、幅5.0 mm、厚さ1.5 mmまで)
表面処理:試料形状(高さ12.0 mm、直径25 mmまで)
●活用事例薄膜の厚さ測定、試料中のフィラー分散状態の観察など
●担 当工業化学担当

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