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●機器名
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FE-SEM/EDS/WDS
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| ●概 要 |
電界放出形走査電子顕微鏡に元素分析装置（EDS及びWDS）を搭載したもので高倍率観察・分析をする機器です。
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| ●型 式 |
日本電子（株）製 JSM-IT800SHL
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| ●仕 様 |
〇SEM
写真倍率：×10～2,000,000 分解能：0.5nm(15kV) 〇EDS 4Be～98Cf 〇WDS 4Be～94Pu 〇その他 低真空モード、走査透過像観察など |
| ●活用事例 | 微細構造の観察、異物分析など |
| ●担 当 | 工業化学担当 |