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C217:X線光電子分光分析装置(XPS/ESCA)

●機器名
X線光電子分光分析装置(XPS/ESCA)
c217
●概 要
固体試料の極表面部の元素分析や状態分析を行う装置です。
●型 式
サーモフィッシャーサイエンティフィック製 K-Alpha
●仕 様
ビーム径:30μm~400μm
試料台サイズ:60×60 mm
Arイオン銃によるスパッタリング
●活用事例接着トラブルなどの不良解析
●担 当工業化学担当

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