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E206:微細形状観察評価装置(レーザー顕微鏡)

●機器名
微細形状観察評価装置(レーザー顕微鏡)
e206
●概 要顕微鏡観察視野内の微小な立体物の表面の3次元形状データをレーザ(非接触)で測定し、形状解析を行う装置です。
●型 式(株)キーエンス製 VK-9700SP
●仕 様測定用レーザ光源 バイオレットレーザ 408nm
対物レンズ倍率  5、10、20、50、150×
電動ステージ   50mm×50mm可動
12インチウェハ用ステージ付属
●活用事例微小電子部品のパーツの形状確認
コンタクトプローブピン先端などの摩耗・付着等の形状評価
IC、ソケット端子の相互高さ測定など
●担 当電子・情報担当

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