ものづくり現場の技術支援機関

E203:走査型プローブ顕微鏡

●機器名
走査型プローブ顕微鏡
e203
●概 要
電子部品などの表面微小領域の表面形状や物性の測定を行う装置です。
●型 式
セイコーインスツルメント(株)製 SPI3800
●仕 様
測定モード:AFM,STM
スキャン範囲:20μm□、150μm□
試料:25mmφ×5mm厚まで
●活用事例金属、セラミックス、有機物、生体試料等の試料表面微小領域の形状観察
スパッタリング薄膜の表面形状評価による成膜条件へのフィードバック
など
●担 当電子・情報担当

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