ものづくり現場の技術支援機関

E202:ホトマスク撮影カメラ

●機器名
ホトマスク撮影カメラ
e202
●概 要
ガラス感板への縮小撮影を行う装置です(微細加工用)。
●型 式
酒井特殊カメラ製作所製 トヨビュー45G 改造品
●仕 様
原図サイズ:約1m×1m
縮小倍率:1/1~1/30程度
ガラス乾板:4インチ□
●活用事例デバイス作製工程でのウェハ等への微細パターン露光のためのガラスマスクを作製します。
●担 当電子・情報担当

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