ものづくり現場の技術支援機関

E103:スピンコーター

●機器名
スピンコーター
e103
●概 要
フォトレジストの回転塗布を行う装置です。
●型 式
ミカサ(株)製 1H-D7
●仕 様
4インチφサイズまで
●活用事例デバイス作製工程でのウェハ等へのフォトレジストの回転塗布
●担 当電子・情報担当

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