ものづくり現場の技術支援機関

E102:マスクアライナー

●機器名
マスクアライナー
m102
●概 要
レジストの露光を行う装置です。
●型 式
ミカサ(株)製 MA-20
●仕 様
UV露光、マニュアルタイプのコンタクト露光機
4インチφサイズまで
●活用事例デバイス作製工程でのウェハ等への微細パターンの形成
●担 当電子・情報担当

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